Microfabrication, Process et Innovation

Depuis 1990, certaines techniques issues de la microélectronique pour fabriquer des systèmes micro électro mécaniques ont été adaptées pour pouvoir usiner des microcanaux dans des matériaux comme le silicium ou le verre. Plus récemment, des dispositifs en matériau polymère ont été développés par de nombreux laboratoires, dus à leur faible coût et leur facilité de fabrication. Il est possible d?intégrer des électrodes dans ces dispositifs pour pouvoir faire des mesures de température ou de conductivité, ou encore d’utiliser des corps de chauffe intégrés pour contrôler la température de manière précise et locale, ce qui permet d?avoir des dispositifs avec des fonctionnalités intégrées.

Certaines de ces technologies ont été développées et adaptées au laboratoire pour pouvoir faire du prototypage rapide de systèmes microfluidiques afin d’étudier diverses réactions chimiques et phénomènes physico-chimiques. Chaque dispositif est adapté aux applications d’intérêt en terme d’hydrodynamique, de matériau utilisé et de fonctionnalité intégrée. Pour ce faire une salle blanche a été mise sur pied avec une large gamme d’outils de microfabrication (tournette, aligneur, évaporateur, …).

Cet équipement a permis de réaliser des structures en polydiméthylsiloxane (PDMS), en verre avec des canaux profonds et en résine thiolène de type millifluidique planaire (voir figure), et ceci avec des corps de chauffe, des capteurs de conductivité ou encore des capteurs de température intégrés.

Le laboratoire collabore avec la PALA, plateforme d’applications laser de l?université de Bordeaux-I pour le micro-usinage de canaux par ablation laser. Cette technique a permis l’usinage de canaux dans des films de Kapton. Ce matériau est transparent aux rayons X ce qui permet de faire des mesures de diffraction avec un faisceau puissant issu d’un synchrotron sans que le dispositif se détruise. Cette technologie permet aussi de réaliser des structures multi-niveaux ce qui est extrêmement difficile avec les méthodes de micro-usinage traditionnelles.

Puce Millifluidique

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Collaborations :
– J. Lopez et M. Faucon, PALA, université Bordeaux-I